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化學分析法中zui常用的是碘化鉀法，硼酸碘化鉀吸光光度法和靛藍二磺酸鈉分光光度法。前兩種方法因對臭氧的專屬性不好或穩定性較差，在現場使用中均受到某些限制，而靛藍二磺酸鈉分光光度法因靈敏度高，對臭氧的性強，無需標準即可用于O3的定量測量，所以在1996年國家頒布的空氣質量標準GB3095-1996中，用該法代替原標準中的硼酸碘化法作為化學檢測O3的標準。
儀器法檢測臭氧的優點在于靈敏度高，重復性好，對操作者水平要求也不高，是一種較好的方法，但是因為此類儀器原來一般價格昂貴，不易普及使用。山美水美公司經過多年努力，在提高質量的過程中，通過規模采購，不斷降低臭氧檢測儀價格。使越來越多的客戶使用上臭氧檢測儀器。現在終于得到大規模普及使用。

儀器檢測臭氧濃度的原理是采用化學發光法、紫外線吸收法和電化學法。因化學發光法須配用乙烯氣瓶，乙烯又是可燃物，既危險又不方便，所以近年來上常用的是紫外線吸收法和電化學法。

紫外線吸收法的原理是基于O3對波長254nm的紫外光的吸收，根據比爾一朗的定律可以算出O3的濃度，這種方法結構簡單、靈敏度高、響應快，在0-10000ppm濃度范圍內具有良好的線性，且零點漂移和量程漂移都很小。
電化學法是被測臭氧氣體以擴散方式和儀器接觸。并發生反應。輸出穩定的電信號。氣體濃度值可以穩定地用數據顯示在顯示屏上。