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(一)電源部分：
1.在低壓交流電源出故障時，指示燈及各燈絲均不亮。檢查時可按電源輸入、變壓器初級、變壓器次級低壓等的順序進行檢查。
2.高壓直流電源在指示燈及各燈絲能亮，但電眼管不發綠光，且更換新電眼管無效時，則問題可發生在高壓直流電源部分。檢查時可用表交流電壓500 V檔。測整流管兩陽極電壓，應分別對地各為約250 V。否則問題出在變壓器的次級高壓或接線。若有電，再用直流電壓500 V檔測定整流管的陰極，對地應有約+200 V以上。若無直流電壓或電壓較低時，應更換整流管或濾波電容。并接好各接點。
(二)振蕩器和陰極輸出器的故障：
當用高周檔測不出準確平衡點時，可先更換振蕩管和陰極輸出管，若不能解決問題則需測兩管的各極電壓和接線。振蕩管陽極應為約+150 V，二柵極約+60 V。陰極輸出管的陽極應為約+250 V。可再用高阻耳機或喇叭（低阻的要通過輸出變壓器）監聽，也可用示波器來跟蹤檢查各訊號點。這樣即可發現問題。
(三)電橋部分的故障：
其表現是不論用高周檔還是低周檔在測定時旋轉讀數鈕或倍率鈕時指示器均閃動不穩，或根本找不到平衡點。
1.先檢查橋路中的電極系統：
將電極取下接人約1000歐姆的已知電阻，若能測出約1000歐姆阻值則問題就在電極或接線。更換或修復電極系統即可。若不能測得可用下法繼續檢查。
2.讀數鈕部分：
有時讀數鈕內部的滑線電阻接觸不良，可用干凈綢布等擦凈接觸點，使各處能接觸良好即可。
3.倍率鈕部分：
多因內部波段開關錯位或接觸不良，可用棉花等吸取少量無水乙醇或三氯乙烯等擦凈并復位即可。
4.電容問題：
有時指示器的光帶邊緣模糊不清，可調整橋臂電容，以清晰為度。
(四)指示器故障：
1.若調橋路電容量后指示器光帶邊緣仍模糊不清時可更換電眼管6E1或6E2，前者的綠色熒光帶為扇形移動，后者為上下移動，且接線不同。
2.指示器動作不靈敏，這時可更換放大管及電眼管，若仍不靈敏則需檢查各極電壓及接線。