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該法利用臭氧對254nm波長的紫外線特征吸收的特性，依據朗伯一比爾定律測量紫外線通過臭氧的光強變化來檢測臭氧濃度。該法不但適用于檢測氣體中臭氧濃度，也可以檢測水中溶存的臭氧濃度，已被我國作為環境空氣中測定臭氧的標準方法。
電化學法主要是被測臭氧氣體以擴散方式和儀器接觸，并發生反應，輸出穩定的電信號。氣體濃度值可以穩定地用數據顯示在顯示屏上。紫外吸收法的原理為臭氧對波長 λ=254nm紫外光具有zui大吸收稀疏，在此波長下紫外光通過臭氧層會產生衰減，符合蘭波特-比爾定律。目前，紫外吸收法已被美國等國家作為臭氧分析的標準方法。其采用紫外線吸收法具有檢測精度高、穩定性好，其他氧化劑干擾小等優點。缺點是價格較高。
光譜分析法是指在光的作用下，通過測量物質產生的發射光、吸收光或散射光的波長和強度來進行分析的方法。在光譜分析中，依據物質對光的選擇性吸收而建立起來的分析方法稱為吸光光度法。
科學家們已經發現臭氧層能吸收紫外線，研究表明臭氧僅對波長254nm的紫外線具有zui大吸收系數，在此波長下紫外線通過臭氧會產生衰減，符合蘭波特一比爾定律:該原理已被美國等國家作為臭氧標準分析方法:該臭氧檢測儀就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長254nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。
YCUV-O3型紫外臭氧檢測儀，是我公司開發的一款產品：是根據臭氧對254nm波長的紫外光存在zui大吸收，并由比耳——朗伯定律光強與濃度的對數值成正比原理設計而成，并為了克服零點漂移，采用了經典的雙光路系統，精度達±0.01mg/L,測量范圍由0.01~200mg/L。適用于各種濃度的臭氧氣體測量。用于臭氧發生器出口的濃度測量，